[뉴스토마토 이명신 기자] 중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나왔습니다. 해당 장비는 중국 시가총액 1위 기업 창신메모리(CXMT)를 비롯해 중신궈지(SMIC), 화홍반도체 등 중국 반도체 기업들에게 공급될 것으로 보입니다.
‘메이드 인 차이나’ 문구가 쓰인 반도체 기판 위에 중국 국기가 놓여 있다. (사진=연합뉴스).
블룸버그통신과 로이터통신 등 외신은 27일(현지시각) IT매체 디 인포메이션을 인용해 상하이의 한 국영기업이 액침(이머전) DUV 노광장비 생산에 돌입했다고 보도했습니다. 해당 중국 기업의 이름이 공개되진 않았으며, 올해 5대, 내년 20대 안팎의 장비를 생산할 것으로 알려졌습니다.
디인포메이션에 따르면 해당 장비는 SMIC, CMXT, 화홍반도체 등 중국 반도체 제조사에 공급될 예정입니다. 미국의 대중 수출 통제로 첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 확보하지 못하는 대신 액침 DUV 장비를 개발해 반도체 생산을 이어간다는 전략입니다.
노광장비는 웨이퍼 위에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 장비로, 얼마나 정밀하게 회로를 그리는지가 반도체 공정의 핵심입니다. 회로가 정밀해질수록 웨이퍼당 제작 가능한 칩 개수가 늘어나고 전력 효율성도 높아지기 때문입니다.
현재 미국 주도의 수출 통제로 네덜란드 ASML의 최첨단 EUV 노광장비는 대중 수출이 금지돼 있습니다. 최상급 액침 DUV 장비 판매 역시 제한돼 있으며, ASML이 중국에 공급하는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품입니다. ASML은 지난해에만 액침식 DUV 장비를 131대 출하했습니다.
업계에서는 중국산 DUV 장비가 당장 ASML을 위협할 수준은 아니라고 보고 있습니다. 제조 품질과 성능 면에서 ASML의 제품과 격차가 있으며, 노광장비 일부 핵심 부품은 일본산에 의존하는 것으로 전해졌습니다. 다만 중국이 자체적으로 액침 DUV 생산에 돌입한 것은 그만큼 중국의 반도체 자립이 진전을 보이고 있다는 신호로 해석됩니다.
이외에도 중국 반도체 기업들은 증시 입성을 통해 대규모 자금을 확보하는 등 생태계 자립에 열을 올리고 있습니다. CXMT는 최근 중국 증시 상장으로 최대 14조원 규모의 자금을 조달해 생산능력(캐파) 확충과 차세대 메모리 연구개발(R&D)에 투자할 계획입니다.
이명신 기자 sin@etomato.com
이 기사는 뉴스토마토 보도준칙 및 윤리강령에 따라 오승훈 산업1부장이 최종 확인·수정했습니다.
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