[뉴스토마토 강명연 기자] 글로벌 화학소재기업인 미국의 듀폰사가 2800만달러를 들여 천안에 EUV(극자외선) 포토레지스트(감광액) 생산라인을 짓는다. 수출규제 이후 일본 의존도가 컸던 포토레지스트 공급선을 다변화하는 계기가 될 것으로 분석된다.
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서울 서초구 삼성딜라이트 전시관에 전시된 반도체 웨이퍼. 사진/뉴시스
산업통상자원부에 따르면 9일(현지시각) 성윤모 산업부 장관과 톤 켐프 듀폰 사장은 미국 실리콘밸리에서 만나 개별면담을 갖고, 이러한 내용의 투자에 최종 합의했다.
존 켐프 사장은 성윤모 장관이 임석한 자리에서 장상현 코트라 인베스트코리아 대표에게 이번 투자와 관련해 2800만달러의 투자신고서를 제출하고, 양측은 한국 투자가 차질 없이 진행되도록 협력하기로 했다.
이에 따라 듀폰사는 올해부터 2년 간 충남 천안에 EUV용 포토레지스트와 CMP 패드 생산투자를 집행한다.
듀폰은 천안공장을 통해 EUV용 포토레지스트 시장에 처음 진출한다. 반도체 미세화 공정이 확대됨에 따라 관련 제품수요가 증가하는 데 따른 것이다. 현재 일본이 90% 이상 점유한 해당 시장에서 듀폰은 천안공장에서 개발·생산을 통해 점유율을 확보해나갈 계획이다.
산업부 관계자는 "지난 7월 일본의 수출규제 조치 이후 핵심 소재·부품·장비 공급 안정화를 위해 듀폰과 직접 접촉해왔다"며 "일본 의존도를 줄이고 미국, 유럽연합(EU) 등으로 공급선을 다변화가 가능해질 것"이라고 말했다.
듀폰은 이미 천안에 반도체 소재공장을 보유하고 있다. 듀폰은 한국 내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아를 통해 1998년부터 천안에 2개의 공장을 가동하고 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔다.
세종=강명연 기자 unsaid@etomato.com